简介

机械电子工程研究所（简称机电所）成立于 2013 年 8 月 30 日，是新机械系适应清华大学机械工程学科发展需要，为促进机械电子工程二级学科发展而建成。机电所目前有IC 装备、机器人、数控三个研究团队，在职教师 20 名，其中IC 装备团队入选科技部重点领域创新团队。朱煜教授是02国家科技重大专项专家组副组长。

教学成果与人才培养

机电所致力于培养机械电子工程方向具有坚实基础理论和解决工程实际问题能力的优秀人才。近年来获得了丰硕教学成果，包括：北京市教育教学成果（高等教育）一等奖1 项，清华大学教学成果二等奖1 项，清华大学实验技术成果奖一等奖1 项、二等奖 1 项，北京市高等教育精品教材 1 项，清华大学优秀教材二等奖 1 项。指导学生参加“中国机器人大赛暨 RoboCup 公开赛”，共获得 6 项冠军、3 项亚军和 6 项季军。举办海峡两岸机器人邀请赛及学术交流会 1 次。此外，多名老师先后获得清华大学优秀班主任一等奖。

学科方向

机电所有IC 制造装备及超精密测控、机器人与自动化技术及装备、先进数控技术与智能系统三个学科方向。在超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC 制造装备精密机电系统、机器人与仿生学、特种机器人技术及应用、航空制造数字化与自动化、机电数控技术及应用、流体传动及控制等领域开展教学与科研工作。建有IC 装备精密机械与测控工程研究中心、机器人与自动化实验室、航空航天自动化技术实验室、数控技术实验室等教学科研基地，还拥有工业机器人、纳米级超精密工作台、亚微米精度三坐标测量机、亚纳米分辨率双频激光干涉仪、500 平方米超净间等教学科研设施，为高水平教学和科研工作提供有力支持。

科研成果

机电所在极端制造装备、航空航天等国家主流行业具有重要影响力，共完成国家和企业科研课题 70 余项，获国家和省部级奖 3 项，军队科技进步奖 1 项，已申请国内外发明专利 150 余项，出版学术专著 4 部，发表论文近 400 篇，年均科研经费超过 0.5 亿元。2005 年自主研制成功国内第一个 10nm 精度同步运动实验台，2011 年研制了我国第一台可实现交换的光刻机双工件台，2013 年实现 5nm 运动精度；2012 年面向国家航空航天领域重大需求，研制出具有国际先进水平的国内首台大型超长14 自由度冗余管道特种喷涂机器人系统；2013 年研制成功国际首个用于机床运动部件悬浮驱动的超导系统。

以上进展为国家科技创新与发展做出了突出贡献。